界2024年5月11日消息，據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，三星電子株式會社申請一項名為“用于CMOS圖像傳感器的像素單元“，公開號CN118016682A，申請日期為2023年11月。
專利摘要顯示，一種用于CMOS圖像傳感器的像素單元包括將像素晶體管區(qū)域與像素光電二極管區(qū)域隔離的隔離結(jié)構(gòu)。在圖像傳感器的前側(cè)處，隔離結(jié)構(gòu)包括第一淺溝槽隔離(STI)結(jié)構(gòu)、第二STI結(jié)構(gòu)、在第一STI結(jié)構(gòu)和第二STI結(jié)構(gòu)之間的半導(dǎo)體區(qū)域以及由p型半導(dǎo)體形成的注入?yún)^(qū)域，該注入?yún)^(qū)域與半導(dǎo)體區(qū)域接觸并朝向圖像傳感器的背側(cè)延伸。半導(dǎo)體區(qū)域由第一類型半導(dǎo)體形成。在圖像傳感器的背側(cè)處，隔離結(jié)構(gòu)包括從背側(cè)朝向前側(cè)延伸并接觸注入?yún)^(qū)域的溝槽隔離結(jié)構(gòu)。